| 主权项 |
1.一种光学混合膜,形成于一石英玻璃基板之上,具有低折射率特性,系以氟化钙为主要材质,并掺杂一固定比例之二氧化矽。2.如申请专利范围第1项所述之光学混合膜,其中氟化钙掺杂二氧化矽之该固定比例约为2%至20%。3.一种雷射反射镜,形成于一石英玻璃基板之上,该雷射反射镜包括:复数层高折射率光学膜;以及复数层低折射率光学膜,各该些低折射率光学膜系以氟化钙且掺杂一固定比例之二氧化矽,该些高折射率光学膜与该些低折射率光学膜系以交互堆叠方式形成于该石英玻璃基板之上。4.如申请专利范围第3项所述之雷射反射镜,其中该些高折射率光学膜之材质包括二氟化镧。5.如申请专利范围第3项所述之雷射反射镜,其中该些高折射率光学膜之材质包括氧化铪。6.如申请专利范围第3项所述之雷射反射镜,其中氟化钙掺杂二氧化矽之该固定比例约为2%至20%。图式简单说明:第一图绘示不同成分比之氟化钙-二氧化矽光学混合膜附着强度与二氧化矽沈积速率之间的实验数据图;第二图绘示不同材质光学薄膜之穿透率与入射光波长之间的实验数据图;第三图绘示氟化钙镀膜在抗潮湿性测试前后,其穿透率与入射光波长之间的实验数据图;第四图绘示氟化钙-二氧化矽膜在抗潮湿性测试前后,其穿透率与入射光波长之间的实验数据图;第五图A绘示氟化钙镀膜的表面结构图;第五图B绘示氟化钙-二氧化矽混合膜的表面结构图;以及第六图绘示一种雷射反射镜之剖面结构示意图。 |
