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发明名称
摘要
申请公布号
JP3109249(B2)
申请公布日期
2000.11.13
申请号
JP19920162379
申请日期
1992.06.22
申请人
发明人
分类号
H01L21/56;(IPC1-7):H01L21/56
主分类号
H01L21/56
代理机构
代理人
主权项
地址
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