| 摘要 |
노광 장치용 반사경 유닛은, 광원 (61) 으로부터의 노광광을 반사하는 평면 미러 (68) 와, 평면 미러 (68) 의 이면에 각각 장착되어, 평면 미러 (68) 를 지지하는 복수의 지지 부재 (73) 와, 복수의 지지 부재 (73) 를 각각 구동시키는 복수의 액추에이터 (74) 를 구비한다. 노광 장치용 반사경 유닛에는, 추가로, 복수의 지지 부재 (73) 에 장착되어, 그 복수의 지지 부재 (73) 의 중간 위치에서, 평면 미러 (68) 의 이면에 장착된 중간 패드 (72a) 를 유지하는 유지판 (82) 이 형성된다. 이로써, 반사경을 굴곡시킬 수 있도록 얇은 반사경을 채용한 경우에도, 반사경의 자중 굽힘의 영향을 억제하여, 광원의 성능을 확보할 수 있다. |
