用于监测堆料机的操作失效的半导体制造自动化系统与方法

摘要

一种用于监测用在半导体制造自动系统中的堆料机的操作失效的方法,其中所述堆料机被分为若干操作部分。包括步骤:a)响应于从堆料机发出的堆料机状态信号产生代表堆料机的操作状态的堆料机状态信息;b)检查堆料机状态信息以更新原来存储的堆料机的操作状态;c)在包含在堆料机中的至少一部分失效时产生警报信号;和d)响应于警报信号产生音频可视警报信号。该方法在堆料机失效时可有效地提供音频可视警报信号。

主权项

1．一种用于监测用于堆放半导体晶片盒的至少一个堆料机的操作失效的装置，其中所述堆料机被分为若干部分，包括：一个用于响应于从所述堆料机发出的堆料机状态信号产生代表所述堆料机的操作状态的堆料机状态信息的产生装置；一个用于检查堆料机状态信息以更新原来存储的所述堆料机的操作状态的并用于当包含在所述堆料机中的至少一部分失效时产生警报信号的监测装置；和一个用于响应于警报信号产生音频可视警报信号的警报装置。