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发明名称
摘要
申请公布号 JP3135585(B2) 申请公布日期 2001.02.19
申请号 JP19980508114 申请日期 1997.08.06
申请人 发明人
分类号 G03F7/004;G03F7/022;G03F7/023;G03F7/09;G03F7/32;G03F7/38;G03F7/40;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/004 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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