曝光机之电路板对位装置

摘要

本创作系有关一种曝光机之电路板对位装置,系包括有:两组并设于曝光框底框外端之微调机构,其于一可移动之平板上纵横设置一对微型精密伺服滑台,并择一滑台设置一具伸缩弹性之对位销,且该底框之玻璃面对应该对位销设有供其穿设且具游移空间之穿孔;将上、下底片及电路板设有相互对位用之标靶,且令电路板相对对位销设有对位孔;一CCD影像拾取系统,其将摄像机设置于曝光框下方预定处,并藉其所摄取之标靶叠合影像,控制该微调机构纵横设置之微型精密伺服滑台作动者。藉此,具有对位极为精准而符合精密曝光制程之对位精度要求之功效增进者。

主权项

1.一种曝光机之电路板对位装置,系包括有:两组并设于曝光框底框外端底缘面之微调机构,其于一可移动之平板上纵横设置一对微型精密伺服滑台,其中,第一伺服滑台系带动平板位移,而设于平板内侧之第二伺服滑台则带动一延伸板位移,并于延伸板端部设置一具上下伸缩弹性之对位销,且该底框之玻璃面对应该对位销设有供其穿伸且具游移空间之穿孔;将上、下底片及电路板设有相互对位用之标靶,且令电路板相对对位销设有对位孔;一CCD影像拾取系统,其将摄像机设置于曝光框下方预定处,并藉其所摄取之标靶叠合影像,控制该微调机构纵横设置之二微型精密伺服滑台作动者。2.如申请专利范围第1项所述之曝光机之电路板对位装置,其中,该对位销之顶端系设成锥状体者。3.如申请专利范围第1项所述之曝光机之电路板对位装置,其中,该上、下底片及上玻璃面相对于对位销亦设有较大内径之穿孔或凹槽,而不影响对位销带动中间之电路板游移者。图式简单说明:第一图系本创作实施例设置于曝光机之立体示意图。第二图系本创作实施例设置于曝光机之相关位置示意图。第三图系本创作实施例之微调机构设置于曝光框之相关位置示意图。第四图系本创作实施例之微调机构之结构俯视图。第五图系第四图中A-A断面剖示图。第六图系本创作实施例之微调机构与CCD影像拾取系统之搭配关系示意图(一)。第七图系本创作实施例之微调机构与CCD影像拾取系统之搭配关系示意图(二)。第八图系本创作实施例之上、下底片及电路板藉其标靶相互对位之示意图(一)。第九图系本创作实施例之上、下底片及电路板藉其标靶相互对位之示意图(二)。