| 摘要 |
<p>복수대의 반도체 디바이스 시험장치를 효율적으로 운용할 수 있는 반도체 디바이스 시험시스템을 제공한다. 복수대의 반도체 디바이스 시험장치(1A, 1B 및 1C)를 관리, 제어하는 호스트컴퓨터(2)와, 분류전용기(3)를 설치하고, 또한, 시험필 반도체 디바이스에 부여된 번호나 시험결과 등의 장치격납정보를 기억하는 격납정보기억수단(4)을 호스트컴퓨터(2)에 설치한다. 각 시험장치의 핸들러부(11)에 있어서는 시험필장치를 분류하지 않고서, 혹은 2개의 카테고리만으로 분류하여 테스트트레이로부터 범용트레이로 전송하고, 이 전송시에 각 장치의 격납정보를 상기 격납정보기억수단에 기억한다. 모든 시험이 종료한 후, 격납정보기억수단에 기억된 각 장치의 격납정보를 분류전용기에 보내서, 이 분류전용기에 의해 시험필장치의 분류를 행한다.</p> |
