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发明名称
摘要
申请公布号 JP3193549(B2) 申请公布日期 2001.07.30
申请号 JP19930311134 申请日期 1993.11.17
申请人 发明人
分类号 G21K5/02;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G21K5/02
代理机构 代理人
主权项
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