アミン処理無水マレイン酸ポリマー、組成物およびそれらの利用

摘要

自己現像フィルムの形成に有用な種々のアミン処理無水マレイン酸含有ポリマーおよびその組成物が開示される。いくつかの実施形態では、かかるポリマーは、ノルボルネン型繰返し単位と無水マレイン酸型繰返し単位とを含み、かかる無水マレイン酸型繰返し単位の少なくとも一部は開環またはマレイミド繰返し単位に変換される。かかるコポリマー組成物から形成されるフィルムは、マイクロエレクトロニクスデバイスおよび光電子デバイスで使用するための自己現像性で低ｋの熱安定性層を提供する。