| 摘要 |
<p>본 발명은 감광성 중합체(Photosensitive polymer) 및 이들을 포함하는 화학 증폭형 포토레지스트 조성물(Chemically Amplified Photoresist Composition)에 대한 것이다. 본 발명에 따른 감광성 중합체는 탄소수 1 내지 12개의 지방족 알코올 그룹이 결합된 노르보넨 에스테르와 무수 말레산을 기본 모노머로 하는 중합체이다. 본 발명에 따른 감광성 중합체를 포함하는 화학 증폭형 포토레지스트 조성물은 식각 내성이 크고, 하부 막질에 대한 접착력이 우수하며, 현상액에 대한 습윤성이 크다.</p> |
