Manufacturing Method oF High Purity Cylindrical Mold Substrate For Nano Pattern Formation

摘要

본 발명은 나노 패턴 형성용 고 순도 원통형 금형 기재의 제조방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로 원통형 합금 금형 기재의 외주면 표면을 랩핑(lapping) 가공하는 단계; 상기 랩핑 가공된 원통형 합금 금형 기재의 외주면 표면을 폴리싱(polishing) 가공하는 단계; 및 상기 폴리싱 가공된 원통형 합금 금형 기재의 외주면 표면에 스퍼터링 공정을 이용하여 고 순도의 알루미늄을 증착하는 단계;를 포함한다.