| 摘要 |
본 발명은 빔 스플리터의 후면 반사를 이용한 다중 광경로 레이저 광학계를 개시한다. 개시된 본 발명에 따르면, 시편에 조사하기 위한 레이저빔을 발생시키는 광원부; 상기 광원부로부터 입사된 레이저빔을 분열시켜 복수의 광경로로 제공하는 다중 빔 스플리터; 상기 다중 빔 스플리터에 의해 분열된 레이저빔을 복수의 시편에 조사하기 위한 메인 빔 스플리터; 상기 시편으로 조사된 레이저빔의 신호를 변환해 주는 트랜스듀서; 상기 트랜스듀서의 신호를 토대로 시편에 대한 분석을 진행하는 제어부;를 포함한다. |
