发明名称 |
可挠性基板的水平连续式化学电镀设备 |
摘要 |
一种可挠性基板的水平连续式化学电镀设备,其是借由一传输机构将表面处理后的可挠性基板水平式连续传输,以进行化学电镀,其包括有:一化学电镀槽,用以装载化学电镀液,其具有一进料端及一出料端,该传输机构用以将该可挠性基板连续式地由该进料端传输入该化学电镀槽内,并由该出料端输出;一导轮机构,其至少具有一第一导轮组及一第二导轮组,该第一导轮组位于该化学电镀槽的进料端上方,用以导引该可挠性基板由化学电镀液上方进入槽内,该第二导轮组位于化学电镀槽内,用以导引传输中的可挠性基板;及一喷流机构,其至少具有一喷刀位于可挠性基板一侧,用以将化学电镀液喷向该可挠性基板。 |
申请公布号 |
CN205669066U |
申请公布日期 |
2016.11.02 |
申请号 |
CN201620554128.7 |
申请日期 |
2016.06.08 |
申请人 |
柏弥兰金属化研究股份有限公司;达迈科技股份有限公司;荒川化学工业股份有限公司 |
发明人 |
陈宗仪;滨泽晃久;罗吉欢;陈文钦;范士诚 |
分类号 |
C23C18/20(2006.01)I;C23C18/30(2006.01)I;C23C18/32(2006.01)I |
主分类号 |
C23C18/20(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
任岩 |
主权项 |
一种可挠性基板的水平连续式化学电镀设备,其特征在于,其是借由一传输机构将表面处理后的可挠性基板水平式连续传输,以进行化学电镀,其包括有:一化学电镀槽,用以装载化学电镀液,其具有一进料端及一出料端,该传输机构用以将该可挠性基板连续式地由该进料端传输入该化学电镀槽内,并由该出料端输出;一导轮机构,其至少具有一第一导轮组及一第二导轮组,该第一导轮组位于该化学电镀槽的进料端上方,用以导引该可挠性基板由化学电镀液上方进入槽内,该第二导轮组位于化学电镀槽内,用以导引传输中的可挠性基板;及一喷流机构,其至少具有一喷刀位于可挠性基板一侧,用以将化学电镀液喷向该可挠性基板。 |
地址 |
中国台湾桃园市 |