| 发明名称 |
METHOD OF THIN FILM CHARACTERIZATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IL145699(D0) |
申请公布日期 |
2002.06.30 |
| 申请号 |
IL20010145699 |
申请日期 |
2001.09.30 |
| 申请人 |
NOVA MEASURING INSTRUMENTS LTD. |
发明人 |
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| 分类号 |
G01B11/06;G01N21/21;G01N21/35;G01N21/84;G01N21/95;(IPC1-7):H01L |
主分类号 |
G01B11/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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