| 主权项 |
1.一种增强化学性之正型抗蚀材料,其特征系含有,(A)有机溶剂,150-700重量份(B)作为基料树脂的分子量分布系1.0-1.5之窄分散聚合物,且具有以下一般式(3)所示重覆单位的重量平均分子量为3,000-300,000之侧链不含羧酸基的高分子化合物,70-90重量份(其中,R1为氢原子或甲基,R2为下列一般式(2)所示之基,R4,R5为各别独立之氢原子或碳数1-6的直链,支链或环状烷基,R6为碳数1-10的直链或直链或环状之烷基,又,R4及R5,R4及R6,R5及R6可成环状,成环状时R4,R5,R6为各别独立之碳数1-6的直链或支链烯烃基;x,y为各别之0或正数,又,x,y不可同时为0,z为正数,并且,x,y,z为0≦x/(x+y+z)≦0.5,0≦y/(x+y+z)≦0.5,0.4≦z/(x+y+z)≦0.9,x+x+z=1)(C)产酸剂,0.5-15重量份(D)分子内具有2个以上之乙烯醚基的化合物,0.5-10重量份。2.一种增强化学性之正型抗蚀材料,其特征系含有,(A)有机溶剂,150-700重量份(B)作为基料树脂的分子量分布系1.0-1.5之窄分散聚合物,且具有以下一般式(3)所示重覆单位的重量平均分子量为3,000-300,000之侧链不含羧酸基的高分子化合物,70-90重量份(其中,R1为氢原子或甲基,R2为下列一般式(2)所示之基,R4,R5为各别独立之氢原子或碳数1-6的直链,支链或环状烷基,R6为碳数1-10的直链或直链或环状之烷基,又,R4及R5,R4及R6,R5及R6可成环状,成环状时R4,R5,R6为各别独立之碳数1-6的直链或支链烯烃基;x,y为各别之0或正数,又,x,y不可同时为0,z为正数,并且,x,y,z为0≦x/(x+y+z)≦0.5,0≦y/(x+y+z)≦0.5,0.4≦z/(x+y+z)≦0.9,x+x+z=1)(C)产酸剂,0.5-15重量份(D)分子内具有2个以上之乙烯醚基的化合物,0.5-10重量份,(E)溶剂控制剂,0-40重量份。3.如申请专利范围第2项之增强化学性的正型抗蚀材料,其中,(E)成分之溶解控制剂为分子量100-1,000的分子内具有2个以上苯酚性羟基之化合物,且对此苯酚性羟基之氢原子而言平均10-100%受酸不安定基所取代。4.如申请专利范围第2项之增强化学性的正型抗蚀材料,其中,(E)成分之溶解控制剂为重量平均分子量1,000以上3,000以下的分子内具有2个以上苯酚性羟基之化合物,且对此苯酚性羟基之氢原子而言平均0%至60%受酸不安定基所取代。5.如申请专利范围第1至4项中任何一项的增强化学性之正型抗蚀材料,其中,配合使用(F)成分之硷性化合物。6.如申请专利范围第1至4项中任何一项的增强化学性之正型抗蚀材料,其中,(C)成分之产酸剂为盐。 |
