| 发明名称 |
NOVEL COMPOUND PROCESS FOR PREPARATION THEREOF RADIATION-SENSITIVE COMPOSITIONS CONTAINING THE NOVEL COMPOUND AND CURED FILMS |
| 摘要 |
동일 또는 상이한 하기식 (1')로 나타나는 복수의 기를 갖는 화합물:(식 (1')에 있어서, R및 R는 각각 독립적으로 탄소수 1∼6의 알킬기이고; n은 1∼6의 정수임). |
| 申请公布号 |
KR101677505(B1) |
申请公布日期 |
2016.11.18 |
| 申请号 |
KR20127000819 |
申请日期 |
2010.07.02 |
| 申请人 |
제이에스알 가부시끼가이샤 |
发明人 |
이와사와 하루오;이치노헤 다이고 |
| 分类号 |
C07D295/10;G03F7/031;H01L21/027 |
主分类号 |
C07D295/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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