发明名称 被处理体收容盒之开闭盖之开闭装置及被处理体之处理系统
摘要 一种被处理体收容盒之开闭盖之开闭装置及被处理体之处理系统,其中开闭装置(52、54)系开闭开闭盖(10)之装置,而开闭盖(10)系杜塞收容被处理体(W)之收容盒(2)开口部(4)以锁固机构(12)锁固者。键构件(26)可旋转及滑动装在基台(90)。键构件(26)由键构件旋转机构(94)旋转,并由键构件旋转机构移动装置(96)向对基台(90)之垂直方向移动。以键构件(26)与装在基台前面之弹性构件(98)夹持开闭盖(10)之一部分。由此、能以比较简单之构造防止从收容盒(2)拆卸开闭盖(10)时对基台(90)之开闭盖(10)之位置相错。
申请公布号 TW503474 申请公布日期 2002.09.21
申请号 TW089114110 申请日期 2000.07.14
申请人 东京威力科创股份有限公司 发明人 田 一成;谷藤 保;小川 正浩
分类号 H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人 陈长文 台北巿敦化北路二○一号七楼
主权项 1.一种被处理体收容盒之开闭盖之开闭装置,其系供将开闭盖开闭之装置,而开闭盖系杜塞收容被处理体之收容盒开口部并以锁固机构锁固者,其特征为包含:基台;键构件,可对该基台旋转且可向对前述基台前面垂直方向移动状态藉轴承机构装在前述基台;键构件旋转机构,使该键构件向正反两方向旋转;键构件旋转机构移动装置,使该键构件旋转机构向对述基台之前述垂直方向移动;水平驱动装置,使前述基台相对前述收容盒在水平方向移动;及垂直驱动装置,使前述基台相对前述收容盒在垂直方向移动。2.如申请专利范围第1项之开闭装置,其中更具有设在前述基台前面之弹性构件,并以前述键构件与前述弹性构件夹持前述开闭盖之一部分。3.一种被处理体收容盒之开闭盖之开闭装置,其系供将开闭盖开闭之装置,而开闭盖系杜塞收容被处理体之收容盒开口部并以锁固机构锁固者,其特征为包含:基台;键构件,可对该基台旋转状态藉轴承机构装在前述基台;键构件旋转机构,使该键构件向正反两方向旋輚;辅助台,配置于前述基台前方并以弹发构件向自前述基台分离方向赋能;水平驱动装置,使前述基台相对前述收容盒在水平方向移动;及垂直驱动装置,使前述基台相对前述收容盒在垂直方向移动。4.如申请专利范围第3项之开闭装置,其中更具有设在前述辅助台前面之弹性构件,并以前述键构件与前述弹性构件夹持前述开闭盖之一部分。5.如申请专利范围第3项或第4项之开闭装置,其中前述弹发构件系设置在前述基台与前述辅助台间之螺旋弹簧。6.如申请专利范围第1项或第3项之开闭装置,其中前述开闭盖之锁固机构至少设置2个,并设有与前述锁固机构数同数之键构件。7.如申请专利范围第1项或第3项之开闭装置,其中前述键构件旋转机构包括:空气缸,产生直线运动;及曲轴机构,将该直线运动变换为旋转运动。8.如申请专利范围第1项或第3项之开闭装置,其中前述键构件旋转机构包括:空气缸,产生直线运动;皮带,由该空气缸驱动;及皮带轮,安装前述键构件并卡合于前述皮带旋转驱动。9.一种被处理体之处理系统,该被处理体系被收容于收容盒并被移送,其特征为包含:搬出入埠,将前述收容盒搬入该处理系统或从该处理系统搬出;储存部,暂时保管前述收容盒;移置台,于前述储存部与被处理体舟间移动收容前述被处理体之前述收容盒;处理单元,对被保持在前述被处理体舟之被处理体实施一定处理;及被处理体收容盒之开闭盖之开闭装置,设在前述搬出入埠及/或前述移置台附近之如申请专利范围第1项或第3项之被处理体收容盒之开闭盖之开闭装置。图式简单说明:图1系被处理体收容盒之透视图。图2系被处理体收容盒之开闭盖打开状态透视图。图3A及3B系开闭盖之锁固机构图。图4系说明以键构件操作锁固机构透视图。图5系锁固机构主要部分断面图。图6系拆卸开闭盖时开闭盖倾斜发生位置相错状态断面图。图7系依本发明第1实施例之处理系统概略构造图。图8系图7所示处理系统之透视图。图9系依本发明第1实施例之开闭装置侧面图。图10系依本发明第1实施例之开闭装置透视图。图11系依本发明第1实施例之开闭装置背面图。图12A、12B、12C、12D系说明依本发明第1实施例之开闭装置开闭动作图。图13系依本发明第2实施例之开闭装置侧面图。图14系依本发明第2实施例之开闭装置透视图。图15系依本发明第2实施例之开闭装置背面图。图16系依本发明第2实施例之开闭装置动作状态部分扩大断面图。图17A、17B、17C、17D系说明依本发明第2实施例之开闭装置开闭动作图。图18系依本发明第2实施例之开闭装置变形例断面图。图19系开闭装置之键构件旋转机构其他例透视图。
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