| 主权项 |
1.一种晶圆固定环之构造,该构造包括:一底环;一壁环,该壁环位于该底环上方;以及复数个引导栓,该些引导栓位于该壁环上方,其中该些引导栓之形状为一半圆锥状,且该半圆锥状之尖端朝向该晶圆固定环之圆心,使得该些引导栓面向该晶圆固定环中心之表面为一圆弧状表面。2.如申请专利范围第1项所述之晶圆固定环之构造,其中该晶圆固定环之材质包括陶瓷材料。3.如申请专利范围第1项所述之晶圆固定环之构造,其中该晶圆固定环之材质包括金属材料。4.如申请专利范围第1项所述之晶圆固定环之构造,其中该晶圆固定环之材质包括高分子材料。5.如申请专利范围第1项所述之晶圆固定环之构造,其中该晶圆固定环之材质包括塑胶材料。6.一种晶圆固定环之构造,该构造包括:一底环;一壁环,该壁环位于该底环上方;以及复数个引导栓,该些引导栓位于该壁环上方,其中该些引导栓面向该晶圆固定环中心之表面为圆弧状。7.如申请专利范围第6项所述之晶圆固定环之构造,其中该引导栓之形状为半圆锥状。8.如申请专利范围第6项所述之晶圆固定环之构造,其中该引导栓之形状为半椭圆锥状。9.如申请专利范围第6项所述之晶圆固定环之构造,其中该晶圆固定环之材质包括陶瓷材料。10.如申请专利范围第6项所述之晶圆固定环之构造,其中该晶圆固定环之材质包括金属材料。11.如申请专利范围第6项所述之晶圆固定环之构造,其中该晶圆固定环之材质包括高分子材料。12.如申请专利范围第6项所述之晶圆固定环之构造,其中该晶圆固定环之材质包括塑胶材料。图式简单说明:第1A图为习知晶圆固定环之以45度角观看之立体图。第1B图为习知之晶圆固定环之侧视图。第1C图为习知之晶圆固定环之俯视图。第1D图为第1C图之A区域放大立体图。第2A图为本创作较佳实施例之一种晶圆固定环之以45度角观看之立体图。第2B图为本创作较佳实施例之一种晶圆固定环之侧视图。第2C图为本创作较佳实施例之一种晶圆固定环之俯视图。第2D图为第2C图之B区域放大立体图。 |
