| 主权项 |
1.一种洗净方法,系指将被洗净构件,介经浸渍于经由过滤器及供应口被导入在洗净槽内之酸及混合过氧化氢溶液与水而成的酸过氧化氢溶液之洗净方法,其特征在于:酸过氧化氢溶液之温度为20至45℃的范围者。2.如申请专利范围第1项之洗净方法,其中捕捉酸过氧化氢溶液的气泡之装置至少系设置于过滤器与供应口之间者。3.如申请专利范围第1项之洗净方法,其中洗净槽内之气压较一大气压力为高者。4.如申请专利范围第2项之洗净方法,其中洗净槽内之气压较一大气压力为高者。5.如申请专利范围第1项之洗净方法,其中被洗净构件浸渍于酸过氧化氢溶液中时所产生的气泡之每一分钟的发生量设为X公升,且洗净槽中之酸过氧化氢溶液之量设为Y公升时,X/Y之値为0.1以下者。6.如申请专利范围第2项之洗净方法,其中被洗净构件浸渍于酸过氧化氢溶液中时所产生的气泡之每一分钟的发生量设为X公升,且洗净槽中之酸过氧化氢溶液之量设为Y公升时,X/Y之値为0.1以下者。7.如申请专利范围第3项之洗净方法,其中被洗净构件浸渍于酸过氧化氢溶液中时所产生的气泡之每一分钟的发生量设为X公升,且洗净槽中之酸过氧化氢溶液之量设为Y公升时,X/Y之値为0.1以下者。8.如申请专利范围第4项之洗净方法,其中被洗净构件浸渍于酸过氧化氢溶液中时所产生的气泡之每一分钟的发生量设为X公升,且洗净槽中之酸过氧化氢溶液之量设为Y公升,X/Y之値为0.1以下者。图式简单说明:第1图系表示供实行本发明之方法而用的洗净系统之一实施形态的概略说明图。第2图系表示酸过氧化氢溶液之温度及过滤氧化氢溶液之分解速度之关系图表。第3图系表示有关捕捉气泡装置之实施形态中通常最宜的捕捉气泡装置之概略剖面图。 |
