| 主权项 |
1.一种重流炉残锡清洁用治具,该重流炉具有一加热板,可对一晶圆加热,该晶圆上之残锡于加热后融化并掉落于该加热板表面形成锡渣,该治具包括:一承载体,具有一第一表面;以及一铜质吸锡线,系配置于该第一表面上;其中,当该治具以该第一表面朝向该加热板的方式于该加热板上传送时,该铜质吸锡线系吸附落于该加热板表面之锡渣以清除之。2.如申请专利范围第1项所述之治具,其中该重流炉更具有一推杆,该推杆系推送该治具于该加热板上传送。3.如申请专利范围第1项所述之治具,其中该承载体系由铝金属制成。4.如申请专利范围第1项所述之治具,其中该承载体系为长条形。5.如申请专利范围第1项所述之治具,其中该承载体之该第一表面上更配置有一第一固定装置与一第二固定装置,用以供该铜质吸锡线缠绕于其上以固定之。6.如申请专利范围第5项所述之治具,其中该第一固定装置与该第二固定装置系均为螺丝。7.一种重流炉残锡之清洁方法,该重流炉具有一加热板,可对一晶圆加热,该晶圆上之残锡于加热后融化并掉落于该加热板表面形成锡渣,该清洁方法包括:使一治具于该加热板上传送,其中,该治具系具有一承载体与一铜质吸锡线,该承载体系具有一第一表面,而该铜质吸锡线系配置于该第一表面上;其中,当该治具以该第一表面朝向该加热板的方式于该加热板上传送时,该铜质吸锡线系吸附落于该加热板表面之残锡以清除之。8.如申请专利范围第7项所述之清洁方法,其中该重流炉更具有一推杆,该推杆系推送该治具于该加热板上传送。9.如申请专利范围第7项所述之清洁方法,其中该承载体系由铝金属制成。10.如申请专利范围第7项所述之清洁方法,其中该承载体系为长条形。11.如申请专利范围第7项所述之清洁方法,其中该承载体之该第一表面上更配置有一第一固定装置与一第二固定装置,用以供该铜质吸锡线缠绕于其上以固定之。12.如申请专利范围第11项所述之清洁方法,其中该第一固定装置与该第二固定装置系均为螺丝。图式简单说明:第1图绘示乃传统之重流炉内部之构造示意图。第2图绘示依照使用本发明一较佳实施例之重流炉残锡清洁用治具的重流炉内部之构造示意图。第3图绘示乃依照本发明一较佳实施例的一种重流炉残锡清洁用治具的示意图。 |
