| 摘要 |
提供一种电浆处理装置，可缩短自电浆放电电力之供应开始至电浆放电后之呈效率良好电浆放电状态的时间。本发明之电浆处理装置系具有采取高频电源1及电浆处理室CN之阻抗匹配的匹配电路2A，与在电浆生成之放电前，将匹配电路2A之输出阻抗匹配于非放电状态的电浆处理室CN之阻抗Z0的匹配控制装置31，例如，将电浆处理室之电浆放电前的阻抗Z0存储于存储部32，匹配控制装置31于高频电源1之高频电力投入时自存储部32呼出放电前之阻抗Z0，藉调整构成匹配电路2A之负载电容器206及调谐电容器205的阻抗，自高频电力之投入即可容易地进行放电开始前之电浆处理室CN的阻抗Z0调整。 |
