组合式动态耦合件

摘要

本发明之动态耦合件可包含一含有一第一材料的晶圆搬运器或输送底板。该晶圆搬运器或输送底板具有一包含一摩擦系数较该第一材料为低的第二材料之接触元件。该接触元件可设于该底板上或直接设于一晶圆搬运器的底部，以作为重叠注塑、扣接、打标桩、超音波焊接及接着处理的一部份，且也可另外利用对个别的元件以机械方式连结加以固定。此制造方法亦可包括经由上述所列的一或多个过程，提供一包含一第一材料的接触元件于一包含一第二材料的搬运器上，其中，该第二材料具有高于该第一材料的摩擦系数。