| 摘要 |
[과제] 피검사대상의 특징점에서 생기는 반사나 투과, 산란의 변화가 적더라도, 촬상장치의 관찰 입체각 내에 있어서의 빛의 변화량을 일정조건 하에서 판별 가능하게 할 수 있으며, 반사나 투과, 산란의 변화가 극히 작은 특징점에서도 검출하는 것이 가능한 검사용 조명장치를 제공한다. [해결수단] 상기 검사용 조명장치에 있어서, 검사광을 사출하는 면 광원(1)과, 상기 면 광원(1)과 상기 검사대상(W) 사이에, 적어도 하나의 차광 마스크(M1)와, 상기 차광 마스크가 그 렌즈의 초점 위치를 중심으로서 위치하도록, 상기 차광 마스크(M1)보다 상기 검사대상(W)에 가까운 측에 렌즈(2)를 배치하고, 상기 면 광원(1)으로부터 방사된 빛이 상기 렌즈(2)에 의해 상기 검사대상(W)에 조사될 때에 형성되는 상기 검사대상(W)에 대한 검사광의 조사 입체각에, 상기 차광 마스크(M1)에 의해 암부 영역을 형성하도록 하여, 피검사대상의 특징점에서 생기는 반사나 투과, 산란의 변화에 맞추어, 상기 검사광의 조사 입체각의 형상이나 크기 및 기울기 각도를 변경할 수 있도록 하였다. |
