摘要 |
一种制造系统包含制程工具、控制器媒介、及第一处理媒介。该制程工具之组态设定成根据操作技术方法而处理工件。该控制器媒介之组态设定成决定与该制程工具中之该工件的处理相关联的控制动作。该第一处理媒介系与该制程工具及该工件中之至少一个相关联,且该第一处理媒介之组态设定成与该控制器媒介连系,接收该控制动作,并根据该控制动作而设定该操作技术方法之组态。本发明提供了一种根据操作技术方法而控制组态设定成处理工件的制程工具之方法。将与该制程工具及该工件中之至少一个相关联的第一处理媒介实体化。将组态设定成决定与该制程工具中之该工件的处理相关联的控制动作之控制器媒介实体化。该第一处理媒介连系该控制器媒介,以便接收该控制动作。该第一处理媒介连系该制程工具,以便根据该控制动作而设定该操作技术方法之组态。 |