| 主权项 |
1.一种光栅轮廓之主数据库的产生方法,包含:指定一组参数,其包含一光栅之复数个尺寸;以及编译一轮廓之主数据库,该等轮廓包含代表于所指定之该组参数中光栅尺寸之组合的资料与相对应之经计算之光谱资料。2.如申请专利范围第1项所述之光栅轮廓之主数据库的产生方法,其中包含该光栅之该等尺寸之该组参数包含一最小値、一最大値与该光栅之该等尺寸之一尺寸之一解像度。3.如申请专利范围第2项所述之光栅轮廓之主数据库的产生方法,其中该光栅之该等尺寸包含一光栅顶端关键尺寸、一光栅底部关键尺寸、一光栅厚度与一底层厚度。4.如申请专利范围第3项所述之光栅轮廓之主数据库的产生方法,其中该光栅之该等尺寸更包含一弯曲点高度百分比与一弯曲点之光栅宽度。5.如申请专利范围第1项所述之光栅轮廓之主数据库的产生方法,更包含将该光栅轮廓之主数据库储存于一储存媒体。6.如申请专利范围第5项所述之光栅轮廓之主数据库的产生方法,其中用于该光栅轮廓之主数据库之该储存媒体包含一光碟、一磁带、一磁片与一可供网路使用之档案。7.如申请专利范围第6项所述之光栅轮廓之主数据库的产生方法,其中可供网路使用之该光栅轮廓之主数据库系传送予用户或由用户下载。8.一种光栅轮廓之主数据库的产生系统,包含:一储存媒体,其储存该光栅轮廓之主数据库之;一电脑,其连结至该储存媒体;以及一可于该电脑中运作之编译器,其系用以产生该光栅轮廓之主数据库,其中该电脑引动该编译器以产生该主数据库,该编译器提示光栅尺寸之一组参数之规格,该编译器确认所指定之该组参数,该编译器基于经确认之该组参数与相对应之经计算之光谱资料产生该光栅轮廓之主数据库,且该编译器储存该光栅轮廓之主数据库于该储存媒体。9.如申请专利范围第8项所述之光栅轮廓之主数据库的产生系统,其中该电脑为一组伺服器。10.如申请专利范围第8项所述之光栅轮廓之主数据库的产生系统,更包含:一输入装置,其连结至该电脑,用以输入用于该光栅轮廓之主数据库之光栅尺寸的该组参数。11.如申请专利范围第8项所述之光栅轮廓之主数据库的产生系统,其中用于储存该光栅轮廓之主数据库之该储存媒体包含一光碟、一磁带、一磁片与一可供网路使用之档案。12.如申请专利范围第11项所述之光栅轮廓之主数据库的产生系统,其中可供网路使用之该档案系传送予用户或由用户下载。13.如申请专利范围第12项所述之光栅轮廓之主数据库的产生系统,其中该光栅轮廓之档案包含一光栅轮廓之资料库与一执行时间编译器。14.一种光栅轮廓之执行时间数据库的产生系统,包含:一光栅轮廓之主数据库;一储存媒体,其用以储存该执行时间数据库之;一电脑,其连结至该主数据库与该储存媒体之;以及一可于该电脑中运作之执行时间编译器,其系用以产生一光栅轮廓之执行时间数据库,其中该电脑引动该执行时间编译器以产生该执行时间数据库,该编译器提示一组选出之参数之规格,该编译器确认所指定之该组选出之参数,该编译器自该光栅轮廓之主数据库撷取轮廓,该编译器产生该光栅轮廓之执行时间数据库,且该编译器储存该执行时间数据库于该储存媒体。15.如申请专利范围第14项所述之光栅轮廓之执行时间数据库的产生系统,其中该组选出之参数包含一指定之最小値、一指定之最大値与一指定之光栅尺寸之解像度値。16.如申请专利范围第15项所述之光栅轮廓之执行时间数据库的产生系统,其中确认该组选出之参数包含检查光栅尺寸之该指定之最小値与该指定之最大値是否位于该主数据库中相对应之尺寸之最小値与最大値之间,以及该指定之光栅尺寸之解像度値是否等于或高于针对该主数据库中相对应之尺寸之该主数据库之解像度値,且针对该尺寸之该指定之解像度値是否为针对该主数据库中相对应之尺寸之该主数据库之解像度値的倍数。17.如申请专利范围第14项所述之光栅轮廓之执行时间数据库的产生系统,更包含一连结至该电脑之输入装置,其系用以指定用于该执行时间数据库之该组选出之参数。18.如申请专利范围第14项所述之光栅轮廓之执行时间数据库的产生系统,其中用以储存该光栅轮廓之执行时间数据库之该储存媒体包含一光碟、一磁带、一磁片与一可供网路使用之档案。19.如申请专利范围第14项所述之光栅轮廓之执行时间数据库的产生系统,其中该执行时间数据库包含一光栅轮廓之资料库与一包含光栅之每一尺寸之制程平均的档案。20.一种储存光栅轮廓之资料库格式,包含:一光栅顶端关键尺寸;一光栅底部关键尺寸;一光栅厚度;以及经计算之光谱资料。21.如申请专利范围第20项所述之储存光栅轮廓之资料库格式,其中该光栅顶端关键尺寸、该光栅底部关键尺寸与该光栅厚度系以毫微米表示。22.一种光栅轮廓之显示格式,包含:一光栅顶端关键尺寸;一光栅底部关键尺寸;一光栅厚度;以及经计算之光谱资料。23.一种光栅光谱资料的评监方法,包含:比较一光栅光谱资料与一执行时间数据库中经计算之光栅光谱资料的范围;将该光栅光谱资料设定旗标为位于该执行时间数据库中经计算之光谱资料的范围内,或将该光栅光谱资料设定旗标为位于该执行时间数据库中经计算之光谱资料的范围外;以及选择该执行时间数据库中其经计算之光谱资料最相近于该光栅光谱资料之一轮廓事件。24.如申请专利范围第23项所述之光栅光谱资料的评监方法,更包含记录所选定之该执行时间数据库中、其经计算之光谱资料最相近于该光栅光谱资料之该轮廓事件。25.一种光栅轮廓资料的评监系统,包含:一分光光学度量衡装置,其用以产生光栅光谱资料;一光栅轮廓之执行时间数据库;以及一轮廓产生器应用伺服器,连结至该分光光学度量衡装置与该执行时间数据库,其系用以比较光栅光谱资料与该执行时间数据库中经计算之光谱资料之事件,以及选择该执行时间数据库中其经计算之光谱资料最相近于光栅光谱资料之轮廓事件,其中该分光光学度量衡装置传递光栅光谱资料予该轮廓产生器应用伺服器,该轮廓产生器应用伺服器存取该执行时间数据库,如果光栅光谱资料位于该执行时间数据库中经计算之光谱资料的范围外,为光栅光谱资料设定旗标,或如果光栅光谱资料位于该执行时间数据库中经计算之光谱资料的范围内,为光栅光谱资料设定旗标,以及选择该执行时间数据库中其经计算之光谱资料最相近于该光栅光谱资料之该轮廓事件。26.一种光栅轮廓之替代执行时间数据库的自动编译方法,包含:指定一组引发编译一光栅轮廓之替代执行时间数据库之触发状况;以及每当符合该组触发状况时,编译该新的光栅轮廓之替代执行时间数据库。27.如申请专利范围第26项所述之光栅轮廓之替代执行时间数据库的自动编译方法,其中该组触发状况包含一或多个参数-尺寸之制程平均超过相对应之预先决定之数量或百分比。28.如申请专利范围第26项所述之光栅轮廓之替代执行时间数据库的自动编译方法,其中该组触发状况系于经过一指定长度之时间或制造一预先决定之数量之光栅后评监。29.一种光栅轮廓之替代执行时间数据库的自动编译系统,包含:一光栅轮廓之主数据库;一光栅轮廓之起始执行时间数据库,其系随着一组引发轮廓数据库之编译之一组起始触发状况而编译;一光栅轮廓之替代执行时间数据库,其系于编译后替代该光栅轮廓之起始执行时间数据库;一执行时间编译器,其系用以编译该光栅轮廓之替代执行时间数据库;一连结至该主数据库与该起始执行时间数据库之电脑;以及一可于该电脑中运作之比较器,其系用以计算实际制程値,并比较经计算之该实际制程値与该组起始触发状况,其中该比较器侦测经计算之该实际制程値符合该组起始触发状况之条件的状况,引动该执行时间编译器以编译该光栅轮廓之替代执行时间数据库。30.如申请专利范围第29项所述之光栅轮廓之替代执行时间数据库的自动编译系统,其中该组起始触发状况系于经过一指定长度之时间或制造一预先决定之数量之光栅后评监。31.一种光栅轮廓之数据库的产生系统,包含:一组参数,其系用以指定一轮廓数据库之类型以及指定光栅尺寸之范围与解像度;一电脑;以及一可于该电脑中运作之数据库产生器,其系用以编译复数个轮廓数据库,轮廓包含代表于所指定之该组参数中光栅尺寸之组合的资料与相对应之经计算之光谱资料,其中该数据库产生器于该组参数所指定之该数据库之类型为一主数据库时,产生该轮廓之主数据库,而于该组参数所指定之该数据库之类型为一执行时间数据库时,产生该轮廓之执行时间数据库。32.一种提供用以产生一光栅轮廓之数据库之服务的方法,包含:由一用户与一卖方订约,该用户针对使用系统、流程及程序以产生一光栅轮廓之数据库,或针对传送该光栅轮廓之数据库予用户支付酬劳予该卖方,而相对的针对来自用户之酬劳,该卖方提供产生该光栅轮廓之数据库之系统、流程及程序的存取权予该用户,或产生并传送该光栅轮廓之数据库予该用户;由该卖方提供产生该光栅轮廓之数据库之系统、流程及程序的存取权予该用户;以及由该用户或该用户之受让人、受益人或被授权人使用产生该光栅轮廓之数据库之系统、流程及程序。33.一种用以储存使一电脑系统执行产生一光栅轮廓之数据库之复数个步骤之电脑可读取之程式的电脑储存媒体,该等步骤包含:指定一组一类型之光栅轮廓之数据库的参数;以及编译相对应于所指定之该组参数之该类型之光栅轮廓之数据库,其中该轮廓包含代表于所指定之该组参数中光栅尺寸之组合的资料,与相对应之经计算之光谱资料。图式简单说明:图1为一架构图,例示于本发明之一实施例中,光栅特征构造之尺寸。图2A为一架构图,例示于本发明之一实施例中,一光栅轮廓之主数据库之编译动作。图2B为于本发明之一实施例中,一编译一光栅轮廓之主数据库的基本步骤的流程图。图3A为一架构图,例示于本发明之一实施例中,一光栅轮廓之执行时间数据库之编译动作。图3B为于本发明之一实施例中,一编译一光栅轮廓之执行时间数据库的基本步骤的流程图。图4为一架构图,例示于本发明之一实施例中,使用执行时间数据库以评监光栅光谱资料。图5为于本发明之一实施例中,一使用执行时间数据库以评监光栅光谱资料之过程的流程图。图6为一架构图,例示于本发明之一实施例中,一替代执行时间数据库的自动编译动作。图7为一流程图,例示于本发明之一实施例中,一替代执行时间数据库之自动编译动作。图8为一架构图,例示于本发明之一实施例中之一光栅轮廓数据库产生器。图9为一流程图,例示于本发明之一实施例中,利用一光栅轮廓数据库产生器产生一主数据库、一执行时间数据库及一替代执行时间数据库。图10为于本发明之一实施例中,一提供一产生光栅轮廓数据库之服务之商业方法的流程图。图11A显示于本发明之一实施例中,一光栅轮廓数据库之资料库元件。图11B显示于本发明之一实施例中,一光栅轮廓数据库之显示元件。 |
