HALOGENATED POLYSILANE AND THERMAL PROCESS FOR PRODUCING THE SAME

摘要

본 발명은 순수 화합물 또는 화합물의 혼합물로서의 할로겐화 폴리실란(이하에서 폴리실란이라 함) 및 이를 제조하기 위한 열적 방법에 관한 것이다. 폴리실란은Si NMR 스펙트럼에서 특징적인 이동(shifts)에 의해, 그리고 라만 스펙트럼의 밴드들의 전형적인 세기 비율에 의해 특징지워진다. 폴리실란(SiX)은 높은 비율의 분지쇄 및 환을 가진다. 상기 할로겐화 폴리실란을 제조하는 방법은 높은 쓰로우풋(throughput)(산업상 생산)을 가능하게 하고 특정 가용성 폴리실란의 생산을 가능하게 하는 방법으로 개선되었다.