电子装置之制造方法

摘要

本发明系透过加快半穿透相位移转光罩之制造TAT(TurnAroundTime，作业完成所需时间)及降低成本的方法，来达成加快电子装置之开发、新机型展开TAT，及降低电子装置之制造成本的目的。本发明系在半穿透相位移转光罩上以有机膜来形成遮光用辅助图案。