| 摘要 |
一种光阻组成物，其包含以下各者：氟聚合物(A)，于照光之下可产生酸的酸产生化合物(B)及有机溶剂(C)：氟聚合物(A)：带有封端的酸性基团之氟聚合物，此氟聚合物带有由式(1)的氟化二烯之环聚合所形成的单体单元，及由式(2)的丙烯酸单体之聚合所形成的单体单元，且当聚合式(1)的氟化二烯与式(2)的丙烯酸单体而得到的共聚物，不带有封端的酸性基团时，其系藉由在该共聚物中形成封端的酸性基团而：CF2=CR^1-Q-CR^2=CH2(1)其中各个R^1与R^2系相互独立为氢原子、氟原子、甲基基团或三氟甲基基团，且Q为二价有机基团，其系为能藉酸形成酸性基团之封端酸性基团、酸性基团、或可转化为封端酸性基团之非酸性基团；CH2=CR^3-CO2R^4(2)其中R^3为氢原子、氟原子、甲基基团或三氟甲基基团，且R^4为氢原子、烃基团、带有酸性基团的有机基团、带有能藉由酸而形成酸性基团之封端酸性基团之有机基团、或内含可转化为封端酸性基团之非酸性基团的有机基团。 |
