| 摘要 |
本发明系关于一种具横向可平移之光轴之粒子束镜头设计，尤指利用电子将接物面之区域转移至成像平面上，其具有一由一柱面镜及一四极镜所构成之复合镜头，该柱面镜及四极镜具有一可由电场及/或磁场启动之狭缝光圈。此处之四极镜光轴系伸展在柱面镜之中心平面上，并定义成像之光轴，四极镜之光轴位置可在柱面镜呈狭缝形状之开口方向上相对柱面镜轴改变。四极镜之焦点取代柱面镜所无法聚焦之段落，而四极镜之散焦则是发生在柱面镜聚焦之段落上。根据本发明，其复合镜头之操作系如同一浸没式镜头，以便为二次电子成像，而在轴向上之浸没场，至少由二邻接之场所构成，第一场位于物件与第一狭缝光圈之间，而第二场则是位于第一与第二狭缝光圈之间，而且该两场均可彼此独立地作调整。此外，根据本发明所述，物件与第一光圈间之场强度，比第一与第二狭缝光圈间之场强度，相较之下要小些，而在物件与第一光圈间之电位剖面，则是设定为近乎是直线。复合镜头之聚焦/散焦效果，系由浸没场、柱面镜场及四极场所叠合而成。本发明镜头设计之变化，系用来作为一具有许多相似、相邻之辐射区域之光阴极之阴极镜之用。 |
