零光程差自参考干涉对准系统

摘要

本发明提出一种零光程差自参考干涉对准系统，包括：激光光源模块，用于提供所需的照明光束；光学模块，用于将照明光束照射到对准标记上，形成光学信号；电子采集模块，用于将所述光学信号进行处理，获得光强信号；软件模块，用于对光强信号进行处理，进一步获得对准位置；其特征在于：所述光学模块包括一等光程回路，使不同偏振态的正负级次光经过相同的光程后进行干涉。本发明在现有技术基础上进行了改进，可以实现各色光、各级次光零光程差干涉对准，从而提高对准精度。

主权项

一种零光程差自参考干涉对准系统，包括：激光光源模块，用于提供所需的照明光束；光学模块，用于将照明光束照射到对准标记上，形成光学信号；电子采集模块，用于将所述光学信号进行处理，获得光强信号；软件模块，用于对光强信号进行处理，进一步获得对准位置；其特征在于：所述光学模块包括一等光程回路，使不同偏振态的正负级次光经过相同的光程后进行干涉；所述等光程回路包括一三面体棱镜和一五角棱镜，光束经过三面体棱镜后物像关系旋转180度，偏振方向不改变；光束在所述等光程回路中在三面体棱镜之外反射奇数次，其中五角棱镜反射两次。