| 主权项 |
1.一种化学机械研磨机之弹性化研磨液输送设备,包括:一流体供应装置,包括有:一流量比重检测容器、复数个流体供应管路分别提供不同化学溶液注入该流量比重检测容器中以进行混合、以及复数个流量测量单元,系分别设置于各流体供应管路上以控制注入之化学溶液的流量;一电子控制模组,连接于各流量测量单元以控制管路流量,并进而控制各种化学溶液的混合比例及记录比重;至少二搅拌装置,连接于流体供应装置,可接受并容置由流量比重检测容器所输送来之混合后的化学溶液;一循环装置,设于各搅拌装置之间,其系由复数个循环管路、至少两循环切换阀、以及一循环帮浦所构成,藉由控制两切换阀,可选择使循环管路系连通两搅拌装置、或是仅进行其中一搅拌装置之闭路循环,进而可选择进行两搅拌装置内之混合化学溶液的相互转换输送、或是其中一搅拌装置内化学溶液的闭路循环;以及,一泵送装置,包括有至少两研磨液输出管、至少两输出帮浦分别各设置于研磨液输出管中、以及至少二泵送切换阀分别连接于各研磨液输出管之中间段与交口处,各研磨液输出管系分别连接于一对应之搅拌装置,藉由控制该泵送切换阀可选择输出某一搅拌装置内的化学溶液。2.如申请专利范围第1项所述之化学机械研磨机之弹性化研磨液输送设备,其中该流体供应装置之流量比重检测容器、流体供应管路、流量测量单元系可以经过防蚀处理。3.如申请专利范围第1项所述之化学机械研磨机之弹性化研磨液输送设备,其中该流体供应装置之流量比重检测容器、流体供应管路、流量测量单元系可以是防蚀材料制成。4.如申请专利范围第1项所述之化学机械研磨机之弹性化研磨液输送设备,其中该流体供应装置之流量比重检测容器材质可以是耐高温材料。5.如申请专利范围第1项所述之化学机械研磨机之弹性化研磨液输送设备,其中该流体供应装置之流量比重检测容器可以是一量测重量的特殊耐高温量杯。6.如申请专利范围第1项所述之化学机械研磨机之弹性化研磨液输送设备,其中该流体供应装置之流量比重检测容器可以由一承载装置承载着。7.如申请专利范围第1项所述之化学机械研磨机之弹性化研磨液输送设备,其中该流体供应装置之流量测量单元可以是流量测量表。8.如申请专利范围第1项所述之化学机械研磨机之弹性化研磨液输送设备,其中该电子控制模组系可以经过防蚀处理。9.如申请专利范围第1项所述之化学机械研磨机之弹性化研磨液输送设备,其中该电子控制模组系可以电脑程式化精确控制流量。10.如申请专利范围第1项所述之化学机械研磨机之弹性化研磨液输送设备,其中该二搅拌装置系可以经过防蚀处理。11.如申请专利范围第1项所述之化学机械研磨机之弹性化研磨液输送设备,其中该二搅拌装置系可以是防蚀材料制成。12.如申请专利范围第1项所述之化学机械研磨机之弹性化研磨液输送设备,其中该二搅拌装置可分别包括复数个一对一的搅拌槽与搅拌臂的配置,以进行搅拌。13.如申请专利范围第1项所述之化学机械研磨机之弹性化研磨液输送设备,其中该循环装置之循环管路、循环切换阀、循环帮浦系可以经过防蚀处理。14.如申请专利范围第1项所述之化学机械研磨机之弹性化研磨液输送设备,其中该循环装置之循环管路、循环切换阀、循环帮浦系可以是防蚀材料制成。15.如申请专利范围第1项所述之化学机械研磨机之弹性化研磨液输送设备,其中该循环装置之复数个循环管路系可以包括复数个研磨液循环管与至少一共用循环管。16.如申请专利范围第1项所述之化学机械研磨机之弹性化研磨液输送设备,其中该泵送装置之研磨液输出管、输出帮浦、泵送切换阀系可以经过防蚀处理。17.如申请专利范围第1项所述之化学机械研磨机之弹性化研磨液输送设备,其中该泵送装置之研磨液输出管、输出帮浦、泵送切换阀系可以是防蚀材料制成。图式简单说明:图一为化学机械研磨液输送设备之习用技术示意图。图二为本创作之双循环管路实施例示意图。 |
