稀土抛光液及其制备方法

摘要

本发明提供了一种稀土抛光液及其制备方法，所述稀土抛光液，包括如下重量份的组分：稀土抛光粉20‑50份，有机溶剂3‑15份，粘土1‑5份，水30～76份。本发明解决了抛光粉在水中的悬浮分散，克服了目前抛光液在制备、储存过程中的胶连问题及使用过程中具有良好清洗问题，具有悬浮分散性能好、抛光速率快、抛光精度高、抛光制品的清洗性能优异等特点。本发明适用于集成电路、平面显示、光学玻璃等电子信息产业精密密器件的表面抛光加工，满足了日益严格的商业对抛光材料在精度、抛蚀量、易清洗等抛光良率的要求。

主权项

稀土抛光液，其特征在于，包括如下重量份的组分：所述的稀土抛光粉，选自《GB/T 20165‑2012稀土抛光粉》规定的抛光粉的理化性能；所述的粘土选自高岭土、膨润土、蒙脱土中的一种或几种；所述的粘土的灼减失重为10‑17％；所述的粘土的粒度D50为1‑3μm；制备方法，包括如下步骤：(1)有机溶液的分散：将有机溶液加入至水中，剪切分散，得溶液A；(2)粘土的分散：将粘土加入到溶液A中，与水打浆，剪切分散，过滤，得浆液B；(3)抛光液制备：在搅拌条件下将稀土抛光粉加入到浆液B中，经湿法球磨至最大颗粒D100≤10μm；(4)磁性物质控制：将球磨后浆液通过由经励磁而磁化的磁性材料制成的磁性分离器，控制至磁性颗粒浓度以重量计不大于200ppm。