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经营范围
发明名称
OPTICAL INSPECTION USING VARIABLE APODIZATION
摘要
申请公布号
IL156292(D0)
申请公布日期
2004.01.04
申请号
IL20030156292
申请日期
2003.06.03
申请人
APPLIED MATERIALS, INC.
发明人
分类号
G02B;(IPC1-7):G02B
主分类号
G02B
代理机构
代理人
主权项
地址
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