发明名称 OPTICAL INSPECTION USING VARIABLE APODIZATION
摘要
申请公布号 IL156292(D0) 申请公布日期 2004.01.04
申请号 IL20030156292 申请日期 2003.06.03
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人
分类号 G02B;(IPC1-7):G02B 主分类号 G02B
代理机构 代理人
主权项
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