微型元件压电式回馈夹持操作装置

摘要

一种微型元件压电式回馈夹持操作装置，于夹持设计上，在压电材料上以渐进式电极设计，不仅能达成超精密均匀形变而提高夹持精度，同时能有较大的变形量而提高操作范围，在放置设计方面则以交指状电极(IDT)产生局部表面声波，能使操作微／奈米元件瞬间克服表面物理作用力，达到顺利放置的功能。交指状电极亦能感测因微／奈米元件与操作装置接触产生的微小形变而转换的电流讯号，以回馈机制控制夹持力大小，形成一整合夹持单元、持力控制与放置单元的压电微／奈米操作装置。

主权项

1.一种微型元件压电式回馈夹持操作装置,其系于一压电材料上设置有一交指状电极。2.如申请专利范围第1项所述之微型元件压电式回馈夹持操作装置,其中该交指状电极系透过表面声波或超音波而形成放置单元。3.如申请专利范围第1项所述之微型元件压电式回馈夹持操作装置,其中该交指状电极作为压电讯号回馈感测器,形成持力控制单元。4.一种微型元件压电式回馈夹持操作装置,其系于一压电材料上设置有一渐进式电极,该渐进式电极接近该压电材料一端电极面积较大,往另一端方向电极面积则逐渐减小。5.一种微型元件压电式回馈夹持操作装置,其系于一压电材料上设置有一渐进式电极及一交指状电极,该渐进式电极接近该压电材料一端电极面积较大,往另一端方向电极面积则逐渐减小。6.如申请专利范围第5项所述之微型元件压电式回馈夹持操作装置,其中该交指状电极系透过表面声波或超音波而形成放置单元。7.如申请专利范围第5项所述之微型元件压电式回馈夹持操作装置,其中该交指状电极作为压电讯号回馈感测器,形成持力控制单元。图式简单说明:第一图系本创作之侧视图。第二图系本创作之俯视图。第三图A系本创作之操作示意图(一)。第三图B系本创作之操作示意图(二)。第三图C系本创作之操作示意图(三)。第三图D系本创作之操作示意图(四)。