积体电路中测量电容量的测试图案

摘要

本发明是关于一种用于测量积体电路中的电容器之电容量的测试图案。本发明系提供一组与所欲测量的电路装置大同小异的测试图案，再并联复数组所欲测试的深沟渠电容器，并使用测量仪器来测量上述深沟渠电容器的电容量。由于会造成电容量测量中的主要杂讯之闸极氧化层已经从本发明的测试图案移除。所以，本发明除了可以有效的检测出动态随机存取记忆体中的电容器之电容量外，更可以在产品产出时提供客户关于产品的更详细电性参数。