利用材料处理工具与感测器数据之处理效能预测方法与系统

摘要

包含着一处理工具与一处理效能预测系统的一种材料处理系统。该效能预测系统包含有感测器，其连接着该处理工具以便测量工具数据；与一控制器，其连接着该感测器以便接收工具数据，该控制器系建构成使用工具数据来为该工具预测处理效能。亦提供有一种使用一处理效能预测模型的材料处理系统中之错误侦测方法。该方法包含步骤有准备工具；起始该处理工具中的一处理动作；记录工具数据以便形成一工具数据矩阵。该方法亦包含步骤有执行该工具数据矩阵与一相关矩阵的一矩阵乘法，以便形成预测的处理效能数据，其中该相关矩阵包含有该处理效能预测模型、将该预测数据与目标数据进行比较与从该比较步骤来决定该处理系统的一错误状态。