导电性氧化物烧结体、该烧结体所构成之溅镀靶及其等之制造方法

摘要

一种SrRuO3系导电性氧化物烧结体，其特征在于，相对密度在93％以上。提供一种导电性氧化物烧结体、该烧结体所构成之溅镀靶及其等之制造方法，藉由改善Bi2O3之添加量与烧结条件，可谋求SrRuO3系导电性氧化物烧结体之相对密度的提升，抑制利用溅镀形成薄膜之际所产生之粒子，来提升品质与良率。