具弹性薄膜之承载头

摘要

一种用于基材化学机械研磨之承载头(carrierhead)，该承载头具备一个弹性薄膜(flexiblemembrane)延伸于基部下方而形成一个舱室，该弹性薄膜提供一个基材接受表面，并且可加以规划配置而使得施加于基材的压力剖面(pressureprofile)能大致上不受护圈磨耗(retainingringwear)影响。