处理装置之多变量解析模型作成方法、处理装置用之多变量解析方法、处理装置之控制装置、处理装置之控制系统

摘要

在本发明中，关于例如将当成基准之电浆处理装置100A和与此同种类之电浆处理装置100B，在藉由第1设定资料而动作时，由个别之多数感测器所检测的检测资料分别进行多变量解析，作成个别之多变量解析模型后，在藉由新的第2设定资料动作时，利用由电浆处理装置100A之多数感测器所检测的检测资料，作成其之多变量解析模型，利用此新的第2设定资料之电浆处理装置100A的多变量解析模型和电浆处理装置100B之多变量解析模型，作成对应新的第2设定资料之电浆处理装置100B的多变量解析模型。如依据此，例如即使每一处理装置其制程特性有差异时，关于一个处理装置所作成的模型可以原样运用于同种类的其他处理装置，不用每一处理装置都取得种种之测量资料，而每次作成模型。藉此，可以减轻模型作成时的手续和时间。