具有气泡消除装置之监测系统及方法

摘要

一种具有气泡消除装置之监测系统，该监测系统包括输送装置、气泡消除装置、流体计测装置及控制装置。利用控制装置控制气泡消除装置的操作，以排除来自输送装置中研浆的气泡，使监测系统的研浆流率趋于稳定。并进一步利用具有稳定流率的研浆，有效维持研浆中研磨剂的混合比例，而大幅降低混合比例的变动量。