光罩图案补正方法

摘要

本发明提供可简单解除图案之线宽补正后所产生之微小阶差之光罩图案补正方法。本发明之光罩图案之补正方法具有：求取大小超过包含角部之图案之图形，与使图案边缘偏移所形成之暂时区域之差分之工序；抽出差分中与线宽修正后之图形不相接之边缘(区域指定用边缘)之工序；形成以区域指定用边缘为1边之矩形之工序；及由差分将矩形削除，获得将微小阶差埋入之图案之工序。