疏水性基板洗净用液体组成物及利用此组成物之洗净方法

摘要

本发明提供一种疏水性基板洗净用液体组成物，使用此液体组成物洗净表面区域上具有水滴呈现60°或60°以上接触角之基板；此液体组成物，包含：一磷酸螯合剂，于一分子内具有至少二个磷酸官能基；以及一聚氧烷撑烷基醚型非离子性界面活性剂；其中液体组成物液滴或其稀释水溶液，对该表面区域呈现50°或50°以下之接触角。