| 摘要 |
공정(a)에서는, 가드 링(60)을, 관통 구멍(61)의 개구의 한쪽이 세라믹스 기체(12)(제2 부재)의 접합면(13)으로 막히도록 세라믹스 기체(12) 상에 배치한다. 공정(b)에서는, 금속으로 이루어진 브레이징재(56)와, 브레이징재(56)보다 열팽창계수가 작은 재료로 이루어진 분말(54)과, 급전 단자(40)를 관통 구멍(61)의 내부에 삽입하여, 세라믹스 기체(12)의 접합면(13)과 급전 단자(40)의 접합면(43)이 대향하고 또한 세라믹스 기체(12)와 급전 단자(40) 사이에 브레이징재(56)와 분말(54)이 위치하도록 한다. 공정(c)에서는, 브레이징재(56)를 용융시켜 브레이징재(56)를 분말(54) 사이에 함침시켜 브레이징재(56)와 분말(54)을 포함하는 접합층을 형성하여, 접합층을 통해 접합면(13)과 접합면(43)을 접합한다. |
