基板搬运系统

摘要

对于处理装置有效率地搬运基板的基板搬运系统。在隧道的内部侧壁中，二条的轨道是呈上下方向平行设置。这些二条的轨道，是分别支撑的复数基板搬运车可能，基板搬运车，是藉由马达的驱动沿着轨道自走。由此，隧道是在其内部，具有：搬运基板的第1搬运路、及在第1搬运路的上方搬运基板的第2搬运路。