利用介电复合材料之直接成像制造电子互连装置之方法

摘要

一种利用介电复合材料之直接成像来制造电子互连装置之改良方法，其藉由在该复合材料中内含一导电材料，并透过将该导电材料曝露至电磁辐射而让其变成不导电。该导电材料通常包含单壁碳奈米管。