制造双闸氧化薄膜的方法

摘要

本发明揭示一种制造一双闸氧化薄膜的方法。依据本发明，获得用于高电压之一高品质的氮氧(NO)闸氧化薄膜及用于低电压之一高品质的NO闸氧化薄膜系可能的，其中藉由在执行一NO退火程序之后在一惰性环境中执行一快速退火程序，以防止因在形成用于低电压之一闸氧化薄膜之后应用该NO退火程序而使得氮未均匀分布且在用于高电压之一闸氧化薄膜中分离之一现象发生来将氮均匀地分布于该等整个氧化薄膜中。