用在接触孔遮罩之光学近似修正设计方法

摘要

本发明揭示一种用以对在一基板之一表面上所形成之一图案最佳化一照明轮廓之方法。最佳化照明系藉由定义一透射交叉系数(transmission cross coefficient；「TCC」)函数，该函数系依据一照明瞳孔及对应于一照明器的一投影瞳孔而决定；藉由至少一脉冲函数表示要在该基板上印刷的一遮罩之至少一可分解特征；以及根据该至少一脉冲函数及该TCC函数而建立一预定顺序之一干涉映射，其中该干涉映射表示要在该基板上印刷的该至少一可分解特征以及破坏性干涉之区域。