| 摘要 |
本发明系为提供对光阻溶剂之溶解性优异、烘烤温度的依赖性少、及减低显像后之图型的线边缘粗糙度者。其特征为含有式(1)及、式(2)及、式(3)及／或式(4)者。093123523-p01.bmp R、R’、R”及R”’为氢原子、甲基、或三氟甲基；R^1为氢原子、碳数1～4之直链状或支链状的烷基、烷氧基、或碳数1～4的直链状或支链状的氟化烷基；X为仅由碳数7～20的碳原子及氢原子所成之多环型脂环族烃基；R^2及R^3为相互独立之碳数1～4之直链状或支链状的烷基；R^4为碳数4～20的脂环族烃基；R^5为碳数1～4之直链状或支链状的烷基；R^6及R^7为氢原子、或碳数1～4之直链状或支链状的烷基。093123523-p01.bmp |
