冷却装置

摘要

一种冷却装置，系包括一蒸镀室及一位于蒸镀室外之散热体，该蒸镀室内设有一基板载体及至少一可将基板载体之热量传导至蒸镀室外散热体之热管组。该热管组包括均匀分布于基板载体周围之至少两根热管。该热管组可于基板载体与散热体之间移动，使热量通过热管传到散热体上再经散热体散发到空气中。

主权项

1.一种冷却装置,系包括一蒸镀室及一位于蒸镀室外之散热体,该蒸镀室内设有一基板载体,该蒸镀室内设有至少一可将基板载体之热量传导至蒸镀室外散热体之热管组,该热管组包括均匀分布于基板载体周围之至少两根热管。2.如申请专利范围第1项所述之冷却装置,其中该热管位于基板载体与散热体之间。3.如申请专利范围第2项所述之冷却装置,其中该热管可于基板载体与散热体之间移动。4.如申请专利范围第3项所述之冷却装置,其中该热管移动之同时一端与散热体接触。5.如申请专利范围第1项所述之冷却装置,其中该散热体设有散热鳍片及风扇。6.如申请专利范围第1项所述之冷却装置,其中该基板载体下方还设有一挡板。图式简单说明:第一图系本创作冷却装置之平面示意图。第二图系本创作冷却装置之热管分布示意图。