| 摘要 |
本发明揭示一种压电震动片之制作方法。首先，提供一矽晶片，并形成一压电材料构成的薄膜致动器于此矽晶片上，再形成一电极于该薄膜致动器上。随后，提供一基板，其上贴有一热感黏膜，此热感黏膜之黏性可利用改变其温度而加以移除，接着，黏贴一光感黏膜于此热感黏膜上，光感黏膜之黏性可利用照射光线而加以移除。后续，将矽晶片形成有薄膜致动器之一侧黏贴至光感黏膜上，并薄化矽晶片之厚度，以提供作为一震动层，然后，改变热感黏膜之温度，使其失去黏性而脱离光感黏膜表面。最后经由照射光线，使光感黏膜失去黏性而脱离矽晶片表面，露出薄膜致动器。 |
